工业大尺寸样品
原子力显微镜/扫描探针显微镜
- 具有完整自主知识产权的工业大尺寸样品扫描探针显微镜,探针扫描,满足超大、超重样品的检测需求
- 系统功能集成了原子力显微镜、横向力显微镜、磁力显微镜、静电力显微镜、压电响应力显微镜、扫描开尔文探针显微镜和纳米加工等功能
- 具有接触模式、轻敲模式、相移成像模式、横向力(摩擦力)模式、抬起模式等多种工作模式和力-距离(F-Z)曲线、振幅-距离(RMS-Z)曲线、相移-距离(Phase-Z)曲线、摩擦力回路曲线、摩擦力载荷曲线、摩擦力恒载荷等测量分析功能
- 检测头轻量化设计,结构刚性和固有频率高,有效提升了扫描探针组件的稳定性
- 探头对称结构设计,针尖固定于支承横梁中点,能有效抑制环境温度波动导致热漂移
- 采用电容传感器的闭环压电扫描台,扫描的非线性和正交自动校正
- 标准的12吋(300mm)样品真空吸盘,吸盘具有软件控制的多道真空吸轨,无需手动操作开关阀门,自适应2吋、3吋、4吋、6吋、8吋、10吋和12吋的不同规格的晶圆吸附固定
- 高分辨辅助光学显微定位,实时观测与定位探针以及样品扫描区域
- 一次扫描技术,图像分辨高达4096×4096物理象素,微米级扫描即可得到纳米级的实际信息
- 控制系统采用TI的DSP+RAM双核信号处理器,内置二代的实时操作系统spm/DNA,全数字控制
- 先进PID反馈算法实现快速高精度作用力控制,确保系统在高速扫描中稳定成像,实际扫描速度提升一个数量级,多重针尖保护技术,有效延长探针使用寿命
- 系统采用10M/100M快速以太网(Fast Ethernet 10/100)或USB3.0与计算机连接
- 主控机箱前面板具有16×4液晶显示屏,实时显示系统当前状态
- 具备实时在线三维图像显示功能,便于用户在检测过程中随时直观获得样品信息
- 具有简体、繁体和英文三种语言版本的在线控制软件和后处理分析软件,基于Windows 10系统开发,兼容Windows 11/8/7/Vista/XP全系列操作系统
- 具备双向扫描(Trace-Retrace)、往返扫描、线扫描等多种扫描模式,并具备自动更新扫描图像亮度、对比度功能
技术参数
- 系统功能:原子力显微镜、横向力显微镜、磁力显微镜、静电力显微镜、压电响应力显微镜、扫描开尔文探针显微镜和纳米加工等功能
- 工作模式:接触模式、轻敲模式、相移模式、抬起模式(支持磁力和静电力模式)、纳米加工(图形化刻蚀、压痕/机械刻画,矢量扫描)
- 样品尺寸:直径12吋(300mm)/ 厚度30mm / 质量15kg
- 样品固定方式:300mm真空吸附样品台,自动适应各种尺寸晶圆的全软件控制的多道真空吸轨,无需手动操作开关阀门
- 进针模式:一键式全自动探针逼近,逼近精度:50nm/step
- 检测定位方式:软件控制的行程300mm /精度5um二维工作台,12吋无盲区精确自动定位
- 扫描范围:闭环100um×100um,传感器:电容传感器,闭环分辨率:优于0.5nm,线性度:优于0.02%