用磁控溅射法在奥氏体不锈钢基片上制备了SiC 单层膜和Ti /TiN 双层膜以及Ti /TiN / SiC 功能梯度薄膜。采用XRD 和显微硬度计对薄膜的结晶质量和硬度进行表征; 用AFM 和SEM 对薄膜的表面和截面形貌进行了表征。结果表明: Ti /TiN 双层
膜在氩氮流量比为15∶ 15 时，薄膜的结晶质量最好，硬度最高，达到15. 6 GPa，最适合作为钢基SiC 薄膜的缓冲层。另外，功能梯度SiC 薄膜比SiC 单层膜的结晶质量好; 不同退火温度下功能梯度SiC 薄膜的硬度高于SiC 单层膜，同时功能梯度SiC 薄膜的表面结晶质量也优于SiC 单层膜