基于扫描探针理论, 本文介绍了一种超精密加工用金刚石刀具刃口锋锐轮廓的测量方法, 给出了测量图象并分析了测量结
果, 首次对金刚石刀具刃口轮廓参数进行了A FM 扫描原理下的初步评定。这一方法可提高金刚石刀具刃口锋锐度的测量准确度,
对进一步分析刃口参数如何影响超精密加工表面质量具有指导意义。