微纳米操作、加工、检测和控制在各个领域获得广泛的研究和应用，在微纳米层次上进行原位、定位的操作、检测、加工是经常遇到的问题。扫描探针显微镜技术（Scanning probe microscope，SPM）提供强有力的工具，人们利用其不同类型的针尖与相应样品表面产生的化学或物理作用达到目的。但扫描探针显微镜针尖同时用于检测、加工和成像，会因为针尖磨损、状态的改变，影响检测信息的准确性、可靠性，直接影响结果的判定。本文提出一种在微操作加工过程的定位检测技术，即操作过程工具和探针承担不同任务，工具负责加工操作，探针用于检测并定位于操作加工位置，进行了实验并分析讨论定位过程相关问题。