实验采用低温直流磁控溅射技 术,经O_2和Zn在真空腔内反应、在涤纶纺粘非织造布表面沉积ZnO功能性纳米薄膜。运用能量散射X射线能谱仪(EDX)分析样品镀层前后元素组成的变 化及其含量,并利用原子力显微镜(AFM)分析纳米结构表面镀层的形貌及其与直流溅射工艺参数的关系。分析表明:ZnO颗粒尺寸在一定范围内随氧氩比的增 大而增大,氧氩比为20sccm:20sccm时较合适;溅射功率和镀膜厚度的增加均使ZnO颗粒尺寸增大,溅射功率过大会导致ZnO颗粒发生畸变;溅射 压强增加颗粒直径则是先增大后减小,同时压强增大颗粒均匀性和取向性变差。利用织物感应式静电测试仪测试镀层前后织物的抗静电性能,发现经镀层后非织造布 的抗静电性能得到了显著的改善,而且随着膜厚的增加抗静电性能提高也很明显。