氧化铝(Al2O3)薄膜具有许多优良的物理化学性能,在机械、光学及微电子等高科技领域有 着广泛应用,一直受到人们的高度关注。但Al2O3具有多种物相形态,性质差别...
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作者
范文宾;李合琴;邵林飞
期刊
红外
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氧化铝(Al2O3)薄膜具有许多优良的物理化学性能,在机械、光学及微电子等高科技领域有 着广泛应用,一直受到人们的高度关注。但Al2O3具有多种物相形态,性质差别...
范文宾;李合琴;邵林飞
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