本文采用电感耦合(ICP)源辅助磁控溅射等离子体,以六甲基二硅氧烷(HMDSO)为单体、氩气为放电气体,沉积氧化硅;同时以纯度为99.99%的银作为溅射靶材,制备Ag纳米颗粒,通过氧化硅对Ag纳米颗粒的包裹,制备Ag/SiOx纳米复合物。采用傅里叶变换红外光谱(FTIR)分析表明,纳米复合物薄膜在1100cm-1左右存在明显的Si-O-Si吸收峰;紫外-可见光谱(UV-vis)结果可以得出,在420nm波长处存在纳米银的紫外吸收峰;从XRD谱图的分析表明所制得的银颗粒主要以(111)取向。扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对薄膜的表面形貌进行分析结果说明制备的纳米复合薄膜中颗粒的排列规整致密,纳米银颗粒均匀的分布在复合薄膜内。透射电镜(TEM)的测量结果表明,Ag纳米颗粒为晶格结构。