本文介绍了用磁增强等离子体化学气相沉积方法在连续(Roll-to-Roll)系统中于有机薄膜PET表面沉积纳米SiOx高阻隔薄膜的工艺。实验研究了放电功率和镀膜速度对所沉积薄膜的阻隔性能的影响,并通过红外光谱分析薄膜的结构成分、原子力显微镜(AFM)表征表面形貌。在最佳放电参数下,得到PET表面镀SiOx薄膜的氧气透过率(OTR)值最小,为0.725 cc/m~2-day(原膜为130cc/m~2-day