采用磁控溅射方法在不锈钢表面沉积 TiN 薄膜，通过扫描电子显微镜、显微硬度计、CSPM5500扫描探针显微镜、X射线衍射仪、往复式摩擦磨损仪等分析测试手段，研究氮气流量对薄膜形貌、成分、结构、硬度、表面粗糙度、耐磨损等性能的影响.结果表明，随着氮气流量的增加，薄膜的显微硬度、膜厚都逐渐降低，膜基结合力逐渐增加，膜基结合力在16 mL/min时达到最大67.2 N；表面粗糙度和平均摩擦系数均在8 mL/min时最低.随着氮气流量增加,薄膜主要生长取向由（200）晶面转向（111）晶面生长；TiN薄膜的颜色也随氮气流量增大而加深,8 mL/min和12 mL/min 时为金黄色，4 mL/min和16 mL/min时颜色较差.