为实现工程中对油膜厚度无损检测的目的，需要在钢表面制备AlN 压电薄膜，作为声发射接收元件。采用直流反应磁控溅射技术，利用Al 作为过渡基层，在不锈钢上沉积AlN 薄膜。研究了改变溅射功率、氮气流量比等工艺条件对AlN 薄膜生长的影响。利用X 射线衍射仪( XＲD) 和原子力显微镜( AFM) 对薄膜取向性及表面质量做了表征。实验结果表明，溅射功率的增加有利于AlN 薄膜的择优取向生长，但过高的功率会影响薄膜表面的粗糙度; 氮气流量比过低或过高都会影响AlN 的生长，应将其控制在30%～ 70%的范围为宜。