采用溶胶-凝胶法，在304 不锈钢表面制备了分别经500 ℃、600 ℃和700 ℃下热处理的ZrO2薄膜。利用X 射线衍射仪( XＲD) 、原子力显微镜( AFM) 、扫描电镜( SEM) 和摩擦磨损测试仪，研究了热处理温度对ZrO2薄膜的表面结构和摩擦学性能的影响。结果表明: 随着温度的高，ZrO2
晶体结构逐渐由四方相( t-ZrO2) 向单斜相( m-ZrO2) 转变; 当热处理温度从500 ℃升高到700 ℃时，ZrO2薄膜的平均晶粒度略有增大，但都在80 nm 左右，晶粒分布趋于均匀致密，且其表面粗糙度由6． 3 nm 降低至4． 6 nm 左右。同时ZrO2薄膜的摩擦系数和磨损率分别从0． 22和2． 24 × 10 － 4 mm3 /Nm 逐渐减小为0． 19 和1． 95 × 10 － 4 mm3 /Nm，因而薄膜的抗磨减摩性能也显著提高。