在不同的射频负偏压作用下，利用微波电子回旋共振(ECR)等离子体源化学气相沉积技术在单晶硅表面进行制备类金刚石薄膜研究。利用傅立叶变换红外吸收光谱(FTIR)和原子力显微镜(AFM)对薄膜的结构成分和形貌进行了分析表征，同时对所制备的薄膜摩擦系数进行了测试。结果表明：所制备的薄膜具有典型的含H 类金刚石结构特征，薄膜结构致密均匀、表面粗糙度小。随着负偏压的增大，红外光谱中2800 cm- 1～3000 cm- 1 波段的C- H 伸缩振动吸收峰的强度先升高后降低，在射频功率为50 W 时达到最大，所对应的薄膜摩擦系数是先降低再升高，在射频功率为50 W 时达到最小。