利用反应射频磁控溅射技术，首次利用氧化铜作为溅射靶，在氮气和氩气的混合气氛下，制备出Ｎ掺杂的Ｃｕ２Ｏ薄膜。通过改变沉积温度，研究了氮掺杂Ｃｕ２Ｏ薄膜的结构特征和生长模式以及光学特性。研究结果表明低温沉积时，薄膜表现为比较强的（１００）织构；随着沉积温度增加到５００℃，薄膜逐渐转变为（１１１）织构，沉积温度增加导致的临界成核自由能的增加是决定薄膜织构特征的重要因素；原子力显微镜分析发现不同沉积温度的薄膜表面形貌的空间标度指数α＞１，属于表面扩散支配的薄膜生长机制；薄膜表面形貌的空间标度指数和关联长度随沉积温度的变化与薄膜织构度之间存在明显的关联；不同温度沉积的氮掺杂Ｃｕ２Ｏ薄膜的禁带宽度为（２．５２±０．０３）ｅＶ。