LiB3O5(LBO)非线性光学晶体软、脆的特点增加了超精密加工的难度。采用固结磨料抛光技术对LBO 晶体(110)面进行抛光,研究酸性、中性和碱性抛光液pH 值调节剂及pH 值对晶体抛光材料去除率、表面形貌和表面粗糙度的影响。结果表明:酸性抛光液对LBO 晶体表面的腐蚀作用太大,中性抛光液的腐蚀作用太小,不适合抛光LBO 晶体;乙二胺配制pH 值为11 的无磨料碱性抛光液固结磨料抛光LBO 晶体(110)面,获得高的晶体表面质量,表面粗糙度Sa 为1.94 nm,表面损伤小。

论文下载
作者

李军,李标,胡章贵,朱永伟,左敦稳

期刊

硅酸盐学报

年份