采用溶胶－凝胶技术，在Ｐｔ（１１１）／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ（１００）基底上制备Ｐｂ０．９７Ｌａ０．０２（Ｚｒ０．９５Ｔｉ０．０５）Ｏ３反铁电厚膜材料，研究了单步和多步退火工艺对反铁电厚膜结构及电学性能的影响。结果表明：与传统的单步退火方式相比，多步退火工艺制备的反铁电厚膜材料晶粒尺寸较大，结构致密性好，室温
下反铁电态更稳定，具有良好的择优取向度（１００）、较高的介电常数（达５２９）和饱和极化强度（达４２μＣ／ｃｍ２）。其反铁电－铁电和铁电－反铁电的相变电场强度分别为１９８和８９　ｋＶ／ｃｍ，反铁电－铁电相变电流密度达２×１０－５　Ａ／ｃｍ２，多次退火工艺可提高反铁电厚膜的成膜质量。