本文采用溶胶-凝胶工艺在玻璃基体表面制备了一、二、三层ZrO2薄膜。X射线衍射（XRD）分析表明,经500℃烧结热处理后ZrO2的晶体结构为单斜相和四方相的混合相。通过原子力显微镜（AFM）对ZrO2薄膜的厚度和表面形貌进行研究表明,一、二、三层ZrO2薄膜的厚度分别约为50nm、80nm和100nm;并且,随着薄膜厚度的增加,ZrO2薄膜表面由多孔结构变为紧密、均匀分布的颗粒状结构,薄膜的表面粗糙度也逐渐减小。