利用射频磁控溅射法在室温下沉积了GST 相变薄膜，利用XＲD、AFM 对其结构进行表征，原位XＲD 及DSC 测试确定其结晶温度．( 原位) XＲD 测试表明，室温下沉积的GST 薄膜为非晶态，且在室温～375 ℃温度范围内，样品经历了非晶态→立方晶态→六方晶态相转变; 通过原位XＲD 和DSC 测试确定的GST 薄膜的结晶温度一致，为～150 ℃．