针对一些特殊材料表面形貌的检测需要,在原有国产商用激光检测原子力显微镜的基础上,设
计研制了适用性更广、功能更强的原子显微镜。在不提高驱动电压的前提下,采用改进的扫描管,将扫描
范围从15μm ×15μm 提高到了50μm ×50μm;改进了原有的微探针扫描模式,在探针上施加一驱动的简
谐振荡信号,使探针发生振荡。由于存在着表面的力梯度,当样品与探针距离发生振荡变化时,针尖振荡
的振幅、频率和位相都会随之改变。用电子信号反馈电路探测此变化,就能得到样品表面形貌的信息。