介绍了应用原子力显微镜(AFM) 扫描测量超精密加工用金刚石刀具刃口半径的方法,给出
了测量图象和测量结果。该方法可提高金刚石刀具刃口半径的测量精度,对进一步分析刃口参数对超
精密加工表面质量的影响具有一定指导意义。