采用RF磁控溅射法在PP(丙纶)纺粘法非织造布上制备掺铝氧化锌(AZO)薄膜,并利用原子力显微镜(AFM)、扫描电镜(SEM)及能谱仪(EDX)对AZO薄膜的表面形貌、结构及元素成分进行表征和分析。结果表明:在PP基上溅射沉积的AZO薄膜具有纳米级的尺度,而且颗粒分布均匀、致密;经过溅射后薄膜颗粒中除原先的C元素外,只含有Zn、Al、O元素,而且薄膜的纯度很高。随着沉积时间的延长,纳米AZO薄膜致密性、均匀性越来越好。