搭建了双光束激光干涉光刻系统和激光快速扫描系统，采用激光干涉光刻系统在抗蚀剂表面构造了不同周期、不同深度的微米级光栅织构，利用激光快速扫描系统对大尺度网格织构的构筑进行了优化，同时提出了两种双尺度复合结构的制备方法。