提出一种钝化InP 表面的新方法———湿法钝化和干法钝化相结合。这种新型的钝化方式有效地降低了InP 表面态密度，并使其表面暴露在空气中一段时间后仍具有较好的稳定性。实验利用光致发光(PL)谱, 对样品的发光性质进行测试。通过对样品进行XPS 测试表明，通过对样品进行退火处理，可增强In-S 键结合强度，进一步降低表面态密度。最后，利用原子力显微镜(AFM)对样品的表面形貌进行表征