采用溶胶凝胶并通过甩胶制备薄膜方法制备了ITO薄膜。以转速、甩胶时间、干燥温度和退火温度为参数进行正交试验，确定了甩胶法制备ITO薄膜的最优化条件，并对最优化条件下制备的薄膜进行了电学性能、光学性能和形貌分析。结果表明：该透明导电薄膜具有良好的导电性能及透光性能，其表面方阻为13Ω／□，可见光透过率达到了96％