采用溶胶-凝胶法制备CuxZn1 － xO 薄膜，用X 射线衍射仪、原子力显微镜、紫外-可见分光光度计和荧光光谱仪研究薄膜的微结构、表面形貌、透射谱和光致发光谱，结果表明: 薄膜均呈六角纤锌矿结构，随着Cu 含量增加，薄膜平均晶粒尺寸先增大后减小，表面ＲMS 粗糙度先减小后增大，紫外吸收边发生蓝移，薄膜在可见光波段范围内的平均透过率在80%左右。未掺杂ZnO 薄膜中出现一个相对较弱紫光发射带和一个很强的绿光发射带，其它薄膜中出现一个紫光发射和一个蓝光发射带; 紫光发射归因于导带以下的局域能级与价带之间的电子跃迁，绿光发射来自于氧空位缺陷能级与价带之间的电子跃迁