研究型实验教学是培养学生创新意识和创新能力的重要环节，论文以ITO薄膜为例，围绕ITO薄膜光电学性能，介绍了半导体薄膜研究型实验教学的内容和实施方法，激发了学生的科学研究兴趣，探讨了研究型实验教学对培养学生创新思维和科研能力所起的作用。