由于锑化镓（GaSb）表面存在着大量的氧化物及悬挂键，使得材料具有较高的表面态密度，这将导致GaSb费米能级钉扎，严重限制了其器件的应用和发展。同时，这些氧化物及悬挂键将构成非辐射复合中心，影响表面发光。本文通过酸性饱和S2Cl2溶液（最优钝化时间为5s）对n型GaSb进行表面钝化后发现：该溶液钝化可有效减少GaSb表面的氧化物及悬挂键，改善光学性质。从理论上分析了S2Cl2溶液的钝化机理，同时利用PL、PL mapping、XPS及AFM等测试手段验证了该分析的准确性。另外，与常规的碱性（NH4）2S溶液（最优钝化时间为180s）对比，发现经S2Cl2钝化后样品的单点发光强度是（NH4）2S溶液处理过的样品1.5倍，是未处理样品的25倍。但S2Cl2溶液中含有较高的硫浓度，操作时不宜控制，极易腐蚀GaSb表面，钝化后样品表面有大量单质S析出，其发光均匀性及表面平整度不如（NH4）2S溶液。