室温下,结合正交实验表,用射频磁控溅射在涤纶(PET) 非织造布基材上生长AZO(Al2O3 :ZnO) 纳米结构薄膜。采用四探针测量仪测试AZO 薄膜的方块电阻,用原子力显微镜(AFM) 分析薄膜微结构;通过正交分析法对实验L9 (33)AZO 薄膜的性能指标进行分析。实验结果表明:溅射厚度对AZO 薄膜导电性能起主导作用,其次为氩气压强和溅射功率;同时,得出制AZO 薄膜的最佳工艺为:溅射功率150W、厚度100m和气压012Pa ,该参数下样品的方块电阻为11633 ×103Ω ,AZO 纳米颗粒
的平均直径约为6914nm。