今天小编主要为大家分享下静电力显微镜的工作原理以及其成像方式，下面我们一起来看一下。
1、静电力显微镜（EFM）的工作原理
     现有的静电力显微镜主要是在微悬臂的原子力显微镜的基础上开发出来的。静电力显微镜的工作原理跟原子力显微镜非常类似。它是在悬臂针尖和样品两者间施加可以调节的交流电压信号，针尖与样品之间产生静电力，因为样品表面电荷的影响，静电力发生变化，将改变微悬臂的振动特性，固定在微悬臂的微小反射镜改变了光路，使用激光干涉测微仪就能够得到这种微小的变化。
2、静电力显微镜（EFM）的成像方式
  静电力显微镜的成像方式有两种，一种是电场梯度成像，另一种是表面电势成像。电场梯度成像技术相对来说简单些，测量的是试样的电场变化。 样品可以是导体，半导体，甚至是绝缘体。但是由于表面相貌跟电场梯度混在一起，对一些表面形貌的特征变化较大的样品，很难得到准确的试样表面的电场信息。表面电势成像测量的是样品表面的有效电压，也就是在测量的过程中调节针尖电压，使针尖和样品之间的静电力达到最小（这时针尖跟样品上的电压相等），通过针尖所加的电压得到试样表面的电势信息。
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