本文报道与光学显微镜结合的原子力显微镜及其冲击式微位移机构, 采用及摄像机, 可在如如范围内监控微悬臂和样品, 通过机构可将样品以拌的步距在范围内作二维移动。仪器最大扫描范围产拌, 最高分辨率为纳米级。文中给出了获得的部分样品测试结果。
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作者
章海军,黄文浩,林松.
期刊
仪器仪表学报,S1,364-367(1996)
年份
本文报道与光学显微镜结合的原子力显微镜及其冲击式微位移机构, 采用及摄像机, 可在如如范围内监控微悬臂和样品, 通过机构可将样品以拌的步距在范围内作二维移动。仪器最大扫描范围产拌, 最高分辨率为纳米级。文中给出了获得的部分样品测试结果。
章海军,黄文浩,林松.
仪器仪表学报,S1,364-367(1996)