采用溶胶—凝胶法在石英玻璃衬底上制备了Fe掺杂的ZnO薄膜，研究了不同的Fe掺杂浓度对ZnO薄膜的微结构与光学性质的影响．利用X射线衍射分析了薄膜样品的晶向和晶相，利用原子力显微镜观测了薄膜样品的表面形貌，利用双光束紫外—可见分光光度计分析了ZnO薄膜样品的光学性质．实验结果表明：所有ZnO薄膜样品都是六角纤锌矿结构，ZnO晶粒沿C轴择优生长．质量分数为1％ Fe掺入之后，ZnO薄膜的C轴择优取向进一步增强，薄膜的晶化质量也得到进一步提高．当Fe的掺杂浓度高于1％时，ZnO薄膜（002）衍射峰的强度又降低了，这可能是由于Fe^x＋（x=2或3）和Zn^2＋具有不同的离子半径，大量的Fe^x＋进入晶格取代Zn^2＋导致晶格严重畸变，从而影响了ZnO晶粒的正常生长．所制备的ZnO薄膜在可见光区都具有高的透射率，由吸收边估算出来的ZnO薄膜的光学带隙表明：随着Fe的掺杂浓度的提高，光学带隙逐渐展宽．