采用磁控和离子柬联合溅射法制备了NdFeB/α—Fe/NdFeB系列纳米复合多层膜,研究了热处理温度对薄膜结构、表面形貌和磁性能的影响。
论文下载
作者
张丽娜,张敏刚,杨扬,刘小鹏,衣美卿
期刊
机械工程与自动化
年份
采用磁控和离子柬联合溅射法制备了NdFeB/α—Fe/NdFeB系列纳米复合多层膜,研究了热处理温度对薄膜结构、表面形貌和磁性能的影响。
张丽娜,张敏刚,杨扬,刘小鹏,衣美卿
机械工程与自动化