为了实现对基于BaTiO3 薄膜的高速电光调制器波导精确测试，研制出了一种深背景、高截止度的滤光片，用于提高测试系统信噪比，排除杂光干扰。该滤光片采用双离子束溅射的制备方法，以Nb 和SiO2 作为沉积材料，借助TFCalc 和Macleod 软件进行膜系设计和工艺反馈分析, 通过正交矩阵法简化了辅助离子源工艺参数的优化过程,保证了采用优化后的工艺制备的薄膜具有更低的吸收,利用实时标定薄膜材料沉积速率等方法，解决了膜层厚度精确控制等问题。制备的滤光片通带中心波长为1550.1nm，通带宽度5.1nm，光密度在-0.1~30dB 处的波长间隔为1.9 nm,满足了波导精确测试系统的使用要求。