氮化碳因预言具有超金刚石硬度、高热稳定性及优异的摩擦磨损性能，在刀具涂层的应用领域具有巨大的潜力，引起了世界上科研工作者的广泛关注。本文以cF +N +H：+Ar为反应气体，通过直流等离子体喷射法(DC Plasma Jet CVD)，在si[100]基底上以金刚石薄膜为过渡层，成功制备了氮化碳涂层。利用扫描隧道显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、拉曼光谱(Raman)等现代理化测试手段，对所制备涂层的表面形貌、成分结构进行了表征和分析。研究结果表明：所制备的涂层中金刚石过渡层表面生长了线度约300—600nm 的C N 晶粒，为亚微米级别，晶形较为清晰，呈现不规整的柱状，样品中主要含有 一C N 与[3-c，N ，涂层中N的含量为9．8％。