利用脉冲激光沉积法在ITO 玻璃衬底上制备了NiO薄膜，利用XRD、AFM 对样品的晶体结构和表面形貌进行了表征，并对其透射光谱进行了测试，研究了衬底温度及脉冲激光能量对所制NiO 薄膜的结构、形貌和光学特性的影响。结果表明：在脉冲激光能量为180 mJ、衬底温度为600~700 ℃条件下所制备的样品为沿（111）晶面择优取向生长的多晶NiO 薄膜，薄膜结晶质量良好，表面颗粒排列均匀，可见光透射率较高，禁带宽度为3.40~3.47 eV。