用脉冲激光沉积法制备类金刚石膜的实验中,保持其它实验参数不变,沉积时间分别取15、20min和25min来沉积类金刚石膜。用Raman光谱仪对薄膜的微观结构进行检测;用原子力显微镜对薄膜的表面形貌进行检测。检测结果表明,在其它实验参数不变的条件下,沉积时间从15min增加到20min时,薄膜中石墨晶粒数量或体积减小,sp3/sp2比值和薄膜密度明显增大,薄膜表面粗糙度显著降低。沉积时间从20min增加到25min时,薄膜中石墨晶粒数量或体积减小,但是sp3/sp2比值和薄膜密度都没有明显改变。