利用溶胶凝胶法(Sol-Gel)以非晶玻璃为衬底生成氧化锌薄膜,探究了退火温度对氧化锌薄膜电学性能、透光性以及微观结构的影响。利用扫描探针显微镜(AFM)分析发现样品颗粒基本成球形,粒径大小在15~80nm以内,比表面积较大:利用四探针仪对其电阻率进行测定,发现其最低电阻率在6.5×10-4Ω·m;利用双光束分光计对其进行了测定分析,发现在可见光范围(420nm~700nm)内,薄膜的透射率能到达82%。