室温下采用射频磁控溅射粉末靶,在玻璃基底上制备了掺铝氧化锌/银/掺铝氧化锌（AZO/Ag/AZO）三层透明导电薄膜。通过优化中间银层厚度,优化了三层透明导电薄膜的光电性能。采用原子力显微镜和X射线衍射仪分别对薄膜的形貌和结构进行检测分析;采用紫外可见分光光度计和霍尔效应仪分别对薄膜的光电性能进行检测分析。结果表明,所制备的三层膜表面平整,颗粒大小错落均称;三层膜呈现多晶结构,AZO层薄膜具有（002）择优取向的六方纤锌矿结构,Ag层薄膜具有（111）择优取向的立方结构;当三层薄膜为AZO（20 nm）/Ag（12 nm）/AZO（20 nm）时,在550 nm处的透光率为88%,方块电阻为4.3Ω/□,电阻率为2.2×10-5Ω·cm,载流子浓度为2.8×1022/cm3,迁移率为10 cm2/（V·s）,品质因子为3.5×10-2Ω-1。