文章在氧化铟锡（ｉｎｄｉｕｍ ｔｉｎ ｏｘｉｄｅ，ＩＴＯ）玻璃上用反应磁控溅射法制备了氮掺杂ＷＯ３薄膜和ＴｉＯ２薄膜，并封装制成电致变色器件。用Ｘ－ｒａｙ衍射仪、原子力显微镜、Ｘ射线光电子能谱仪对薄膜的结构、形貌、成分和结合键进行表征；采用直流稳压电源和分光光度计对器件的透光变色性能进行测试。结果表明：制备的掺氮ＷＯ３薄膜为非晶态，其非晶衍射包的峰位随着含Ｎ量的增加而移动；随着ＷＯ３薄膜中含Ｎ量的升高，表面粗糙度增大，器件在着色态透光率降低；掺氮ＷＯ３薄膜中Ｗ、Ｏ分别以Ｗ６＋ 和Ｏ２－ 存在，而Ｎ以中性价态、代换Ｏ位与Ｗ 键合以及表面吸附３种状态存在。当掺氮量为２．８０％时，电致变色器件调制幅度最大，适用于节能玻璃。