本文应用扫描隧道显微镜(STM ) , 对使用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD) 制备的纳米硅
(nc2Si: H) 薄膜进行了研究, 得到颗粒上以及颗粒间界的原子结构图像, 从图像上可以得出: (1) 纳米
硅薄膜是由许多不同大小的颗粒所组成。这些颗粒同时又是由更小的微颗粒所组成。(2) 微颗粒的表
面及界面原子排列可以分为四种形式; 环状结构, 线状结构, 网状结构以及完全无规的随机排列。(3)
观察到环状结构不仅存在于界面, 而且普遍存在于微颗粒的表面。本文从机理上对以上各结构的生
成机理进行了初步的讨论。