在KYKY- 1000B 型扫描电子显微镜(SEM) 上所开发的与其联用的袖珍型扫描隧道显微镜(STM) 主要
有四个部分: (1) 减震阻尼装置, (2) 隧道探针, (3) 探针扫描与逼近装置, (4) 电子控制与图象采集系统。它的分辨率
约为1 nm。并用它观察了半导体光栅与硅上金膜的细微结构。