介绍了原子力显微镜(A FM ) 的原理及特点。用A FM 对光盘上记录信息用的凹
坑结构进行了三维检测, 并对测量结果进行了分析。结论表明A FM 在光盘质量检测过程中
具有独特的优势。
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作者
孙大许,刘万里,马强,闫勇刚.
期刊
光学仪器,27(5),3-6(2005)
年份
介绍了原子力显微镜(A FM ) 的原理及特点。用A FM 对光盘上记录信息用的凹
坑结构进行了三维检测, 并对测量结果进行了分析。结论表明A FM 在光盘质量检测过程中
具有独特的优势。
孙大许,刘万里,马强,闫勇刚.
光学仪器,27(5),3-6(2005)