利用不同的热处理温度对磁控溅射在玻璃基底的ITO薄膜进行退火处理。借助于原子力显微镜 (AFM)、分光辐射计、四探针电阻测试仪等测试手段对不同热处理后的ITO...
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作者
张永爱,姚亮,郭太良
期刊
福州大学学报
年份
利用不同的热处理温度对磁控溅射在玻璃基底的ITO薄膜进行退火处理。借助于原子力显微镜 (AFM)、分光辐射计、四探针电阻测试仪等测试手段对不同热处理后的ITO...
张永爱,姚亮,郭太良
福州大学学报