采用超声喷雾裂解法( USP) 法制备α-Fe2O3以及不同厚度的Ti 掺杂α-Fe2O3薄膜，并通过XRD、XPS、SEM、IPCE 表征了合成的薄膜。XRD 测试结果表明，Ti 掺杂和纯相Fe2O3均为α 相并在( 110) 晶面优先生长; 从AFM 图中看出Fe2O3晶粒呈尖峰状垂直于平面排列; 由XPS 分析得知Ti 离子在Fe2O3薄膜中Ti4+和Ti3+两个价态存在; 由光电效率表征可知，吸收光电转换效率( APCE) 值是随着样品薄膜厚度增加而减小，在厚度为20nm 时APCE 为58%，对于粉末Fe2O3光催化材料是粒径尺寸越小光利用率越高; 然而Fe2O3薄膜的IPCE 值在厚度为60nm 时最高达到23. 5%，此时光利用效率最大