粘着、 摩擦和磨损是影响微/纳机电器件稳定性和寿命的关键因素。利用浸渍-提拉法在硅基底上制备了两种具有单、双咪唑环阳离子结构的离子液体薄膜。采用热重分析仪评价了离子液体的热稳定性。利用原子力显微镜测定了薄膜的表面形貌和纳米摩擦学性能。利用球-盘式摩擦试验机考察了载荷和频率对薄膜的微摩擦学性质的影响。对比分析了基于不同阳离子结构的薄膜的微/纳摩擦学性能。结果表明：两种离子液体薄膜的纳米摩擦力随着原子力针尖扫描频率的增加而增加，且[BMIM]PF6薄膜的摩擦力低于2[BMIM]PF6薄膜。此外，[BMIM]PF6 薄膜的微摩擦系数低于2[BMIM]PF6。因此， 离子液体的阳离子结构对其作为薄膜的微/纳摩擦学性能有重要影响。