采用溶胶-凝胶法制备Cu0.05Zn0.95O和Cu0.10Zn0.90O薄膜,在500,600,700和800℃条件下对薄膜进行退火处理,用X射线衍射仪、原子力显微镜、紫外可见分光光度计、荧光光谱仪和接触角测试仪测试薄膜的微结构、表面形貌、透射光谱、光致发光谱和接触角。结果显示,对于相同Cu含量ZnO薄膜,随着退火温度升高,CuO衍射峰的强度明显增强,粗糙度均方根值先减小后增大,紫外吸收边发生红移,紫光发射强度逐渐增大。光照前,薄膜接触角均大于90°,表现为疏水特性;经120 min紫外照射的薄膜由疏水性转变为亲水性。研究退火温度对薄膜光诱导亲水性的影响,揭示薄膜表面浸润性及其光诱导转变的形成机理。