为改善304不锈钢的性能,扩展其应用范围,采用磁控溅射技术在不同溅射靶功率下激发高纯石墨靶在 p(100)单晶硅和304不锈钢表面沉积类金刚石碳薄膜。文章对所制备的系列类金刚石碳薄膜作了 Raman 光谱、X 射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、断口形貌的场发射电镜(FESEM)表征,并评价了其纳米硬度与摩擦磨损行为。结果表明：所制备的类金刚石碳薄膜为典型的非晶态微结构；随着靶功率的增大,类金刚石碳薄膜的 sp3键含量先增多后减少,表面粗糙度先降低后升高,硬度与弹性模量先升高后降低；靶功率200 W 时类金刚石碳薄膜取得最优性能,纳米硬度为11.4 GPa,弹性模量为129.3 GPa,摩擦系数为0.17,磨损率为5.2×10-7 mm3(N·m)-1。